반응형 플라즈마 기초1 플라즈마 기초 1. 플라즈마 기초 1)플라즈마란 - 물질 상태는 분자간의 결합 수준으로 특정된다.(고,액,기) - 만약 기체 온도를 더 가해지게 되면 물질이 이온화된 가스로 상태로 변하는데 이것은 일반기체와 특성이 다르기 때문에 따로 분류하여 플라즈마라 칭한다. - 전체적으로 기체의 성질을 갖으나 동시에 전기 전도체이며 자기장의 영향을 받음(이온화되어 있기 때문에) 집합적 행동 : 하전 입자의 거동을 외부 힘이 지배 준중성 : 전체적으로 중성이나 좁은 범위에서는 중성이 깨짐 ※이온화율 ne : 전하밀도, nn : 중성입자밀도 플라즈마 구성 - 플라즈마는 중성원자(분자), 음전하(전자), 양전하(양이온)으로 구성 - 이온화율을 주로 plasma안에 전자 에너지 의해 결정된다. - 대부분 공정용 플라즈마의 이온화율은 0... 2023. 6. 20. 이전 1 다음 반응형